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洁净控制
零件在车间里洗干净了、检测过了、颗粒度达标了,但从东莞到客户的洁净间,中间还有几百公里。运输振动、温度变化、包装材料本身都可能产生新颗粒。洁净包装不是套个塑料袋的事——材料选择、多层封装、真空处理、防静电设计,每一个细节都影响零件到达客户手里时的洁净状态。
工业零件出厂通常附带批次抽检报告,半导体零件不同——客户要求每件附带全尺寸检测数据。CMM检测、粗糙度仪、内窥镜检查、颗粒度报告,每件零件的检测数据加起来可能比零件本身还重。这不是增加工作量,是半导体行业对“批次一致性”的基本要求。
尺寸合格不等于能交付,颗粒度超标整批退货,而且问题往往在客户洁净间才发现。0.5μm的颗粒肉眼看不见,超声波清洗在盲孔深处也振不动。两道清洗接力、激光检测量化、标准提前对齐,洁净度不是最后洗出来的,是全链条管出来的。
零件精度全合格,颗粒度检测就是不过。追溯到最后,问题在一把刀上。刀具带磁性,加工时吸附的切屑被压进零件表面,普通清洗根本洗不掉。洁净控制必须前置到刀具入库那一刻。