行业应用

半导体设备行业应用

面向半导体设备与实验平台的高精度结构件及系统,助力工艺稳定性、洁净度与制造效率提升。

半导体设备精密部件

平行轨道

导轨的作用是保证工件或刃具运动轨迹的精度和支撑的作用,可以说导轨决定了机床和自动化设备的基本精度。机床导轨主要作用是适应机床滑块、工作台和主轴的轴向运动。

平行轨道

机箱架构

固晶机、晶圆贴片机、晶圆切片机、UV解胶机等设备的机箱外形外观结构、钣金等。

机箱架构

机械平台

支撑晶圆(wafer)在制造过程中实现高精度运动与定位的核心部件,广泛应用于光刻、刻蚀、薄膜沉积等关键工序。它并非普通搬运装置,而是集精密控制、超稳定运动和纳米级定位能力于一体的核心部件。

机械平台

吸盘压板

主要用于固定、平整和温控晶圆,确保其在高精度加工中的稳定性与良品率。这类组件广泛应用于光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入等核心工艺环节,是保障半导体制造精度和效率的关键支撑。

吸盘压板